特黄A片在线播放免费麻婆豆腐,久久精品九九亚洲精品,久久久精品人妻一区二区三区,欧美精品在线观看

產品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

技術文章/ article

您的位置:首頁  -  技術文章  -  藍寶石晶片退火的方法及注意事項

藍寶石晶片退火的方法及注意事項

更新時間:2018-10-12      瀏覽次數(shù):4553

藍寶石晶片退火的方法及注意事項藍寶石晶體(Al2O3)是超高亮度的藍、白光LED發(fā)光材料GaN常用的襯底材料, 而GaN嘉晶的晶體質量與所使用的監(jiān)寶石襯底(基板)表面加工質量密切相關,尤其是圖形化襯底(PSS)與晶片的表面形貌、翹曲程度聯(lián)系密切,同時,晶片的翹曲程度過大,會在平片做GaN磊晶時,平片與外延薄膜脫落,PSS難以聚焦,影響外延品質。在藍寶石襯底的切害I]、雙面研磨以及單面研磨、拋光過程中,盡管部分的加工應力會在下一道加工工序釋放,但是這種應力釋放是無序釋放,同時未釋放的加工應力會在晶片表面集聚,影響藍寶石晶片的翹曲程度,嚴重的翹曲會在后道加工過程產生破片,影響整個加工循環(huán)的晶片質量。藍寶石襯底在加工過程中,必須經過退火處理以降低加工應力,目前的退火工藝采用一步升溫至退火溫度,未經過過程保溫,加工應力釋放不均勻,且藍寶石晶片在退火爐中始終不動,爐子的溫度場對加工釋放均勻性影響極大,對大尺寸的藍寶石晶片影響更為明顯。

   要解決的技術問題是提出一種高質量的藍寶石晶片退火方法,適用于對藍寶石切割片、雙面研磨片、單片研磨片和拋光片。該發(fā)明可以使得藍寶石在切割、研磨和拋光過程中產生的加工應力釋放均勻、充分,可以減小溫度場對加工應力釋放的影響。本發(fā)明所采用的技術方案為一種藍寶石晶片的退火方法,是在退火過程中,分階段升溫、保溫,并在退火過程中,適當旋轉藍寶石晶片,該方法使得藍寶石在切割、研磨和拋光過程中產生的加工應力釋放均勻、充分,可以減小溫度場對加工應力釋放的影響。該方法克服了現(xiàn)有技術的諸多缺點,具體內容如下I、將藍寶石晶片裝入退火爐中,快速直接升溫至低溫度區(qū)域150°C 300°C,保溫2 4小時,此階段升溫時間為I 2小時;2、在低溫區(qū)保溫過程中,將藍寶石晶片旋轉180度,使整批晶片受熱均勻;3、經過低溫保溫一段時間后,升溫至中溫區(qū)域600°C 800°C,保溫5 10小時,此階段升溫時間為4 6小時;4、在中溫區(qū)保溫過程中,將藍寶石晶片旋轉180度,使整批晶片受熱均勻;5、經過中溫保溫一段時間后,升溫至高溫區(qū)域900°C 1600°C,保溫10 20小時,此階段升溫時間為6 20小時。6、在高溫區(qū)保溫過程中,將藍寶石晶片旋轉180度,使整批晶片受熱均勻;7、高溫保溫結束后,以每小時10°C 50°C降溫至室溫出爐。本發(fā)明的有益效果是切割、研磨或拋光后的藍寶石晶片分階段升溫并且保溫一段時間至900°C 1600°C,對藍寶石晶片進行退火處理,以消除切割、研磨或拋光的加工應力,并在保溫階段旋轉晶片,使整個晶片退火均勻,消除退火爐溫度場不均的影響;采用該方法退火的晶片加工應力基本消除,整個晶片退火均勻,退火后的晶片翹曲度小。
  具體實施例方式實施例I低溫區(qū)升溫(I):將切割后的4英寸藍寶石晶片裝入特殊工裝內,放入退火爐爐膛,以:TC /分鐘的升溫速率從室溫升溫至200°C。低溫區(qū)保溫⑵溫度保持200°C 3個小時。低溫區(qū)旋轉(3):在溫度 升至200°C并且保溫I. 5小時后,旋轉退火工裝180度。中溫區(qū)升溫(4):低溫保溫結束后,以2°C/分鐘的升溫速率從200°C升溫至700°C。中溫區(qū)保溫(5):溫度保持700°C 8個小時。中溫區(qū)旋轉(6):在溫度升至700°C并且保溫4小時后,旋轉退火工裝180度。高溫區(qū)升溫(7):中溫保溫結束后,以0. 5°C /分鐘的升溫速率從700°C升溫至1000°C。高溫區(qū)保溫(8):溫度保持1000°C 16個小時。高溫區(qū)旋轉(9):在溫度升至1000°C并且保溫8小時后,旋轉退火工裝180度。降溫(10):高溫保溫結束后,以10°C /小時的降溫速率降溫至室溫,打開爐膛,取出晶片。退火后的4英寸晶片,經測試,整個翹曲度小于5微米,加工應力基本消除。實施例2:低溫區(qū)升溫(I):將雙面研磨后的4英寸藍寶石晶片裝入特殊工裝內,放入退火爐爐膛,以:TC /分鐘的升溫速率從室溫升溫至300°C。低溫區(qū)保溫⑵溫度保持300°C 4個小時。低溫區(qū)旋轉(3):在溫度升至200°C并且保溫2小時后,旋轉退火工裝180度。中溫區(qū)升溫(4):低溫保溫結束后,以2°C/分鐘的升溫速率從200°C升溫至800°C。中溫區(qū)保溫(5):溫度保持800°C 6個小時。中溫區(qū)旋轉(6):在溫度升至800°C并且保溫3小時后,旋轉退火工裝180度。高溫區(qū)升溫(7):中溫保溫結束后,以0. 5°C /分鐘的升溫速率從800°C升溫至1100°C。高溫區(qū)保溫⑶溫度保持1100°C 12個小時。高溫區(qū)旋轉(9):在溫度升至1100°C并且保溫6小時后,旋轉退火工裝180度。降溫(10):高溫保溫結束后,以30°C/小時的降溫速率降溫至室溫,打開爐膛,取出晶片。退火后的4英寸藍寶石雙磨晶片,整個翹曲度小于5微米,加工應力基本消除。實施例3 低溫區(qū)升溫(I):將單磨研磨后的4英寸藍寶石晶片裝入特殊工裝內,放入退火爐爐膛,以:TC /分鐘的升溫速率從室溫升溫至200°C。低溫區(qū)保溫⑵溫度保持200°C 3個小時。低溫區(qū)旋轉(3):在溫度升至200°C并且保溫I. 5小時后,旋轉退火工裝180度。中溫區(qū)升溫(4):低溫保溫結束后,以2. 5°C /分鐘的升溫速率從200°C升溫至800°C。中溫區(qū)保溫(5):溫度保持800°C 10個小時。中溫區(qū)旋轉(6):在溫度升至800°C并且保溫5小時后,旋轉退火工裝180度。高溫區(qū)升溫(7):中溫保溫結束后,以1°C /分鐘的升溫速率從800°C升溫至1600°C。高溫區(qū)保溫⑶溫度保持1600°C 18個小時。高溫區(qū)旋轉(9):在溫度升至1600°C并且保溫9小時后,旋轉退火工裝180度。降溫(10):高溫保溫結束后,以500C /小時的降溫速率降溫至室溫,打開爐膛,取出晶片。退火后的4英寸藍寶石單磨晶片,整個翹曲度小于5微米,加工應力基本消除。以上說明書中描述的只是本發(fā)明的具體實施方式,各種舉例說明不對本發(fā)明的實質內容構成限制,所屬技術領域的普通技術人員在閱讀了說明書后可以對以前所述的具體實施方式
做修改或變形, 而不背離發(fā)明的實質和范圍。

1.ー種藍寶石晶片的退火方法,其特征在于包括以下步驟 (1)將藍寶石晶片裝入退火爐中,快速直接升溫至低溫度區(qū)域150°C 300°C,保溫2 4小時,此階段升溫時間為I 2小時; (2)經過低溫保溫一段時間后,升溫至中溫區(qū)域600°C 800°C,保溫5 10小時,此階段升溫時間為4 6小時; (3)經過中溫保溫一段時間后,升溫至高溫區(qū)域900°C 1600°C,保溫10 20小時,此階段保溫時間為6 20小吋。
2.如權利要求I所述的ー種藍寶石晶片的退火方法,其特征在于在升溫保溫過程中,適時旋轉裝載藍寶石襯底的エ裝,使退火的晶片在退火爐中旋轉。
3.如權利要求I所述的ー種藍寶石晶片的退火方法,其特征在于高溫保溫結束后,以每小時10°C 50°C降溫至室溫出爐。

  • 企業(yè)名稱:

    鄭州安晟科學儀器有限公司

  • 聯(lián)系電話:

    18037316198/13384034244/18037316568

  • 公司地址:

    鄭州市金水區(qū)博頌路20號

  • 企業(yè)郵箱:

    1311327132@qq.com

掃碼加微信

Copyright © 2025鄭州安晟科學儀器有限公司 All Rights Reserved    備案號:豫ICP備18035222號-1

技術支持:化工儀器網    管理登錄    sitemap.xml

99国产欧美久久久精品| 国产卡一卡二卡三乱码手机| 三妻四妾免费观看完整版高清 | 被夫上司欺辱的人妻hd中文版| 精品久久久久久无码人妻中文字幕| 久久精品国产亚洲AV| 樱桃视频影视在线观看免费| 免费av视频在线观看| 日韩超碰人人爽人人做人人添| 国产又粗又大又硬又长又爽 | 久久99精品久久久久久hb无码| 国产人妻久久精品一区二区三区| 国产98在线 | 日韩| 自拍偷在线精品自拍偷无码专区 | 二区国产好的精华液单品榜| 无码av免费毛片一区二区| 无码精品人妻一区二区三区AV | 中文字幕乱码熟女人妻水蜜桃| 欧美成A人片在线观看久| 野花日本韩国视频免费8| 向风而行免费观看完整版| 国产av一区二区三区最新精品| 色综合久久无码五十路人妻| 国产特黄a片aaaa毛片| 国产无遮挡吃胸膜奶免费看| 国精品人妻无码一区二区三区蜜柚| 我和岳M愉情XXXX国产| 粉嫩AV久久一区二区三区| 60欧美老妇做爰视频| 国产成人无码免费看片色哟哟| 欧美又大粗又爽又黄大片视频| 国产激情久久久久久熟女老人| 国产成人亚洲精品无码影院bt| 老色鬼永久精品网站| 7777精品伊久久久大香线蕉| 亚洲av成人片色在线观看高潮| 日本无码小泬粉嫩精品图| 免费网禁拗女资源网视频| 国产AV在线| 堕落的人妻1―10雨柔| 久久99精品久久久学生|